半導体製造装置
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ウエハ製造(前工程)
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サムコ プラズマ洗浄機 PXA-100KM 管理番号11421
【仕様】○反応室 : 約W350×D260×H100mm ビューポート(φ20mm)を反応室正面に設置○搬送方式 : 搬送機構なし ワーク類は、作業者による手載せ設置○電極構造 : RIE方式 上部電極:グランド電極(アノード電極) 下部電極:パワード電極(カソード電極)○高周波電源 : 13.56MHz 水晶…
ミカサ スピンコーター MS-B300 管理番号11285
【主な仕様】・試料サイズ : 最大φ300mm※□200×200mm・試 料 台 : φ300mm、φ120mm付属・試料固定方式 : 真空吸着固定式・回 転 数 : 20~5000rpm・回 転 制 御 : プログラム方式(最大100ステップ/10パターン)・回 転 精 度 : ±1rpm(一定回転、負荷時)・スピン室内径 : φ500mm・外形寸法 : 約W545…
壺坂電機 コントラスト測定器 CT-1 管理番号10926
¥500,000.-(送料/消費税別途) 【本体仕様】【構成】・測定器本体・専用LED光源・トレー・偏光板・型 式 : CT-1BS・輝度計 : LS-100・測定項目 : コントラスト値・トレーサイズ : 内寸200mm角・測定点数 : 中央1点・PCソフトフェア: 付属Ver2.20.00 (Win7対応) 装置ROMVer2.05・測定値の…
Diener セミオート 低圧プラズマ装置 Pico 管理番号07638
【特価販売】 ¥1,000,000.-(送料/消費税別途) 【仕様】 ・ 年式 : 2012年式・ 電源 : AC100V 50/60Hz 付属トランスにて230Vに昇圧・ 接続ガス : 2ライン・ ワークトレイサイズ : W130×D290mm・ チャンバサイズ ; W160×D320×H160mm・ 高周波電源 : 13.56MHz オートチューニングのプラズマ装置・ 排気 : ロータ…
テクノデザインラボ セミオート3槽式超音波洗浄機 TDL010-1000 管理番号06294
【特価販売】¥650,000.-(送料/消費税別途) 【主な仕様】洗浄方法: 有機溶剤(NEP)洗浄及び純水ダンプリンスする装置です。処理方法: 温循環ろ過方式の超音波洗浄処理槽-1の仕様: ①手動排出機能 ②超音波900W×150khz ③循環ろ過機能(10μ) 処理槽-1の仕様: ④MAX60℃加熱機能(温調制御) ⑤処理枚数管理 自動廃液処理槽-2の仕様: ①手動排出機能 ②超音波…
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